此次本篇文章中，小編將向大家介紹X射線熒光光譜儀元素定性原理，那么，何為熒光X射線或X熒光？X熒光光譜儀是如何進行元素分析的呢？

當一束高能粒子與原子相互作用時，如果其能量大于或等于原子某一軌道電子的結合能，將該軌道電子逐出，對應的形成一個空穴，使原子處于激發狀態。

K層電子被擊出稱為K激發態，同樣L層電子被擊出稱為L激發態。此后在很短時間內，由于激發態不穩定，外層電子向空穴躍遷使原子恢復到平衡態，以降低原子能級。當空穴產生在K層，不同外層的電子（L、M、N…層）向空穴躍遷時放出的能量各不相同，產生的一系列輻射統稱為K系輻射。同樣，當空穴產生在L層，所產生一系列輻射則統稱為L系輻射。當較外層的電子躍遷（符合量子力學理論）至內層空穴所釋放的能量以輻射的形式放出，便產生了X 熒光。

X熒光的能量與入射的能量無關，它只等于原子兩能級之間的能量差。由于能量差完全由該元素原子的殼層電子能級決定，故稱之為該元素的特征X射線，也稱熒光X射線或X熒光。

利用X射線熒光進行元素定性、定量分析工作，需要以下三方面的理論基礎知識：莫塞萊定律、布拉格定律 、朗伯-比爾定律。